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13801550777在使用过程中，应对洁净室的参数进行日常监控，监控要有一定的周期性，洁净室用户可根据规范文件的要求确定这种周期性检测可在洁净室工作过程中进行（重复检测）；发生下列各项后需进行重复检测：1、净化车间达不到给定参数的原因已消除；2、与使用条件例如洁净室的使用有较大差异（如改变工艺流程等）；3、空气长时间停止流通（进风）而影响洁净室工作；4、做了影响洁净车间工作的个别维护或修理工作，如更换HEPA过滤器以后。
其原理图见图:2 炉室、BSD室仅有温度控制要求设风冷电热分体柜式空调机（PAL）来保证房间温度要求，室内机就近放置在车间内，接风管，采用方形散流器顶送风方式；室外机放置在屋面上。
6．采取相应的隔离、局部排风等措施，防止工艺产生的粉尘、大量余热，余湿等有害物在车间扩散。
2、生物洁净室以有生命微粒的控制为对象，又可分为：（1）一般生物洁净室：主要控制有生命颗粒（例如单细胞藻类、菌类、原生动物、细菌和病毒等）对工作对象的污染。
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