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13801550777由于大规模和超大规模集成电路的工艺要求，为得到高纯度的硅材料，原料和中间媒介的高纯度和生产环境的洁净度成为影响产品质量的一个突出问题。
喷塑工序：改进后的工艺为先喷塑后合扇，优点是：生产周期短，进步生产效力，进步喷塑效力。
洁净室是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的房间。
消毒后的风管内壁细菌总数、真菌总数的去除率应大于90%，致病菌不得检出。
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