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13801550777如 30 万级的洁净室常采用顶送顶回的方式，10 万级及 1 万级的洁净室设计通常采用上送下侧回的气流方式，更别的则采用水平或垂直单向流的 方式。
在设计恒温系统时，一般总是以恒定环境空气温度为依据，故相应的环境温度精度可比工件允许的温度精度低一些。
风机电机匹配，大风轮低转速，提高风机效率，采用吸音保温材料，在保证风量与出风静压的基础上降低机组运行噪声, 噪音低于标准1~2dB。
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