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13801550777影响洁净室性能参数的主要因素有：① 空调净化送回风系统和洁净室的气流组织;②冷、热、湿源的供应和空气处理系统;③自动控制系统的灵敏度和精度。
一，目前在国内洁净室污染及控制领域普遍存在着一种重硬件(技术、设备)、轻软件(程序与管理)的现象。
随着集成度的不断提高、加工尺寸日益微细化,集成电路生产过程不仅对空气洁净度等级提出越来越高的要求,也对整个产品生产过程中微粒的黏附、化学污染物、芯片的损伤等问题提出越来越高的要求。
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