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当前45nm的大规模集成电路已投入生产,要求洁净室的空气洁净度控制在ISO1级或 ISO2级,微粒粒径控制在0.03微米。
应检查表面洁净度及维护结构的密闭性（对ISO1级~ISO5级的洁净室特别重要）。
4.2 清洗过程的要求 4.2.1 工作范围风管清洗范围包括：送风管、回风管和新风管。
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