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13801550777当前45nm的大规模集成电路已投入生产,要求洁净室的空气洁净度控制在ISO1级或 ISO2级,微粒粒径控制在0.03微米。
了解更多 无尘车间按其气流状态来区分，主要分为乱流（非单向流）无尘车间、单向流无尘车间和辐流无尘车间（也有称矢流无尘车间的），这一节主要讨论乱流无尘车间。
而施工是实践，施工不规范，偷工减料以次充好或不按图纸施工，也会给洁净室的性能造成无法挽回的后果。
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