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13801550777微电子产品的微细化,要求供应纯度高的气体、化学品和纯水。
在无尘室环境内，空气的洁净度达到一定级别，如灰尘、微生物、颗粒、气体等污染都会被净化到一定程度，适合产品生产环境。
3 术语与定义 3.1 空气处理机组 输送、净化和调节空气状态(冷、热、湿)的设备及组件。
二、装备有热水器和恒温供水装置，根据客户用水习惯进行设置。
1、传统的应用领域，如电子、制药、生物工程、卫生、食品、化妆品和军工等产业，由于产业的进一步细化及国家新制度的要求，将掀起一轮洁净房建设及技术(改造)升级之风，这一部分将不少于165亿元/年的产值。
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