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洁净厂房的设计和建造就是要在做好各相关设计的基础上,做好各项设施——— 消防、防火、防爆、报警,确保洁净室的运行。
半导体厂工程设备用电约占全厂用电的49%，冷动机用电占工程设备用电的35%，洁净室空气处理机组用电占工程设备用电的23%。
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