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13801550777有毒的硅烷或其混合物气瓶存区至少三面是敞开的,气瓶与周围构筑物或围栏之间的距离应大于3M,储存区设置的雨篷应不低于3.5M;(7)电子净化车间的装饰材料不得采用释放对电子产品有影响物质的材料;(8)电子光学洁净室车间允许设空气吹淋室,这是和一般生物洁净室不同的。
洁净技术是一门综合技术,其核心技术包括生产工艺技术及其工艺设计、空气净化、洁净建筑以及各类产品生产所需的技术(如微电子产品生产所需的高纯物质——— 高纯水、高纯气、高纯化学品的相关技术等)。
洁净车间的内部装修很多问题需要注意,内部装修如果处理不好,不仅将会对将来的生产车间造成一定的影响,更重要的是造成的损失,需要再次维护的成本是很高的。
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净化室门,手工板