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直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，洁净房特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。
1、防止洁净室里产生静电我们在设计和采用材料时就选用不易产生静电，或产生静电能迅速泄漏的材料。
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