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洁净室内宜设置充足的备用插座，以满足将来扩大生产的需要，这样可避免以后增设插座，影响洁净室的空气质量。
目前纳米级集成电路芯片生产要求气体中杂质的浓度要控制到19-9级或10-12级,要求超纯水的电阻率为18MΩ·cm,杂质浓度为19-9级或10-12级。
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