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13801550777部件清洗范围包括：空气处理机组的内表面、冷凝水盘、加湿和除湿器、盘管组件、风机、过滤器及室内送回风口等。
实验室通风要求新风全部来自室外，然后100%排出室外，通风柜的排气不在室内循环。
例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，洁净房特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。
(2)风淋室工作完毕后，室内的人员才能离开，风淋室门自动关闭后要等待二秒左右，才能进入室内。
高效送风口
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