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13801550777随着集成度的不断提高、加工尺寸日益微细化,集成电路生产过程不仅对空气洁净度等级提出越来越高的要求,也对整个产品生产过程中微粒的黏附、化学污染物、芯片的损伤等问题提出越来越高的要求。
前两者都为小房间，空调精度(这里主要指温湿度)要求高；后两者为较大的生产车间，温湿精度要求较低。
目前微电子产业飞速发展，集成电路技术已迈入0.18微米以下的时代，大地刺激了光伏新能源硅晶片的发展，同时对光伏新能源硅晶片的性能参数的要求也有较大的提高，因此光伏新能源硅晶片的发展前景十分乐观。
如果更多的塔在低速状态下工作，使用变速驱动调节风机的速度，随负载变化而调整，根据“立方定律”，在较低的速度下风机可以节省能量。
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