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示例 五在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。

防火卷帘门尺寸大是多好呢?大概为2050*960mm(宽度*高度)。

 　　所有进行电子工业洁净厂房设计建造的单位和相关科技人员都应认真执行、实施规范中的强制条文。

 4.3.4 措施清洗机构应遵守有关的规定制定制度，清洗现场应设置员，采取措施保证清洗施工人员及建筑物内人员的，并保护好环境。

目前净化车间应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。

无论何种洁净室技术，都有哪些基本的原则和要求是大家所都要遵循的因素，比如说洁净室漏风原因分析及洁净 室正压送风量计算方法。