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13801550777电子制造工序中都可能使操作人员、工作台面、工具、元器件及包装等产生静电,只要存在静电,就一定会有一个ESD(Electro-Static Discharge静电释放)过程,主要是在瞬间放电电流对电路的感应所产生的噪声,以及放电电流使基准地电位如产品地、信号地的电位发生偏移波动,从而导致对电路正常工作的干扰。
在 FED-STD-2里面,洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。
3)乱流型气流:孔板顶送和密集散流器顶送的特点与前述相同,侧送的优点易于管道布置,无需技术夹层,造价低,有利于旧厂房改造,缺点是工作区风速较大,下风侧比上风侧含尘浓度高;高效过滤器风口顶送具有系统简单、高效过滤器后无管道、洁净气流直接送达工作区等优点,但洁净气流扩散缓慢,工作区气流较均匀;不过当均匀地布置多个风口或采用带扩散板地高效过滤器风口时,也可使得工作区气流较均匀;但在系统非连续运行地情况下,扩散板易积尘。
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