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有毒的硅烷或其混合物气瓶存区至少三面是敞开的，气瓶与周围构筑物或围栏之间的距离应大于3M，储存区设置的雨篷应不低于3.5M；（7）电子净化车间的装饰材料不得采用释放对电子产品有影响物质的材料；（8）电子光学洁净室车间允许设空气吹淋室，这是和一般生物洁净室不同的。
二、物料进出洁净区的时候，严格与人流通道分开，并且由生产车间物料专用通道进出。
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