银川净化门生产带观察窗门价格明细

3 磨片检查室有温度和湿度控制要求设风冷电热分体柜式空调机（PAL）来保证房间温度要求，室内机就近放置在车间内，接风管，采用方形散流器顶送风方式；室外机放置在屋面上。

风速的不稳定会产生大量的平衡问题，波动的送、排风系统使气流平衡复杂化，自控系统实现自动调节功能将变得更加困难。

目前纳米级集成电路芯片生产要求气体中杂质的浓度要控制到19-9级或10-12级,要求超纯水的电阻率为18MΩ·cm,杂质浓度为19-9级或10-12级。

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