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而导致芯片缺陷的因素十分复杂,其污染源可能来自空气中的粒子或加工过程中使用的各类工艺介质中的杂质、清洗用纯水中的杂质以及工具等带来的杂质污染等。
国内外对工业产品净化车间的地面采用多种形式，目前主要比较常用粘贴性地面，水磨石地面，涂布型地面和金属隔珊通风地板等。
性能的验证应包括对预先制定的工艺过程的描述、详细的相关性能测试以及对设备每个测试的验收标准。
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