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13801550777例如：10级在0.2µm(尘粒尺寸在0.2µm或更大下，密度不大于75颗/立方英?)，1级在0.1µm(尘粒尺寸在0.1µm或更大下，密度不大于35颗/立方英?)。
当前45nm的大规模集成电路已投入生产,要求洁净室的空气洁净度控制在ISO1级或 ISO2级,微粒粒径控制在0.03微米。
无尘车间的防火设计应符合现行消防技术规范标准的要求，但由于洁净厂房内生产工艺的特殊性、洁净室（区）的特殊性，在防火设计上也有一些特殊的要求。
附录L 清洗机构的技术要求 本附录规定了从事公共场所集中空调通风系统清洗工作机构应达到的技术要求。
为满足无菌室无菌要求，无菌间应满足以下布局：a.入口避开走廊，设在细菌检验操作室内；b.与操作室用两道缓冲间隔开；c.无菌室与缓冲间均装有紫外灯，要求每3平米安装30ｗ紫外灯一盏；d.无菌室内设有实验台中央（实验台与边台皆可），紫外灯距实验台面要小于1.5m；e.无菌室与操作室之间设有双层窗构成小通道。
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