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随着集成度的不断提高、加工尺寸日益微细化,集成电路生产过程不仅对空气洁净度等级提出越来越高的要求,也对整个产品生产过程中微粒的黏附、化学污染物、芯片的损伤等问题提出越来越高的要求。
今天我们就来分析下洁净室漏风计算方法，掌握通风系统的性能，以便更好的控制洁净室洁净度及节能问题。
在单向流系统中，应采用等动力学的取样头。
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