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13801550777许多微电子和光刻洁净室成功地采用被动气压控制，只有在大门全部打开的情况下，入口处的风量维持在每分钟50到100英尺。
据有关部门预测，在未来的5年里，全社会在净化工程中的投资将达到4万亿元，将突出改善水环境质量、大气污染物的控制等方面的工作。
3）操作的验证是对操作过程给予检验和证明，其中包括对设备的所有的报警点、所有的开关显示、操作和功能给予证明。
另外，还可采用洁净地道层流罩装置，以抵御洁净度低的操作区对洁净度高的工艺区可能存在的干扰与污染。
3、车间排热、排湿及臭未处理配浆、容器具清洗等散热、散湿量大的岗位，除设计排湿装置外，同时设置前室，以避免由于散湿和散热量大而影响相邻洁净室的操作和环境空调参数。
净化车间自动门
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