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13801550777在设计恒温系统时,一般总是以恒定环境空气温度为依据,故相应的环境温度精度可比工件允许的温度精度低一些。
从换气次数角度上来说:100000(10万)级要求每小时换气18-25次,完全换气后空气净化时间不超过40分钟。
任何一个、一个工种、一个过程出现问题都会影响洁净室工程的综合的总体的质量。
举例说明:例一、某厂集成电路前工序洁净厂房,无尘车间设计按加工、生产6英寸硅片、1M集成电路,图形特形尺雨1.0um,控制粒子粒径0..1um.无尘车间空气洁净度等级要求:光刻、匀胶区 ISO 3级离子注入、刻蚀CVD、外延、扩散等操作区 ISO 3级离子注入、刻蚀CVD、外延、扩散等维修区 ISO 5级例二、某厂集成电路前工序洁净厂房,无尘车间设计按加工、生产5英寸硅片、256K集成电路、图形特形尺雨2.0um,控制粒子粒径0.2um.无尘车间空气洁净度等级要求:光刻、匀胶区 ISO 3级离子注入、刻蚀CVD、外延、扩散等操作区 ISO 4级离子注入、刻蚀CVD、外延、扩散等维修区 ISO 6级2、一些电子产品生产环境的空气洁净度等级随着信息产业技术的发展,许多电子产品性能、质量的提高和生产过程的微细化,日益要求生产环境具有一定的空气洁净度等级和控制无尘车间内工艺生产所需的各类高纯物质的供给质量,目前国内外还没有统一电子产品的空气洁净度等级或生产环境控制要求的统一规定,各种电子产品的生产厂家依据其生产的产品品种、所采用的生产工艺技术、生产工艺设备、生产用原辅料以及无尘车间运行的实践经验确定设计建造无尘车间的空气洁净度等级。
二,大气污染的治理是净化工程的首要任务,其中对脱硝投资将会大幅度的增加,计划在未来的5年,大气污染的治理将从脱硫转向脱硝,电力、非金属矿物、黑色金属、化工、石化六大行业排放量占到工业源排放量的90%,其中电力领域氮氧化物排放占比达到40%,是脱硝净化工程开展的领域。
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