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影响洁净室性能参数的主要因素有:① 空调净化送回风系统和洁净室的气流组织;②冷、热、湿源的供应和空气处理系统;③自动控制系统的灵敏度和精度。
与此同时,它内部所使用的电子元器件也从电子管到半导体分立器件,再到集成电路和大规模集成电路;集成电路的线宽也已从几微米发展到当今45纳米。
食品厂净化车间规范依据区域环境、净化程度等要素,可分为若干等级,常用的有国际规范和国内区域行业规范。
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