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13801550777随着集成度的不断提高、加工尺寸日益微细化,集成电路生产过程不仅对空气洁净度等级提出越来越高的要求,也对整个产品生产过程中微粒的黏附、化学污染物、芯片的损伤等问题提出越来越高的要求。
如果机房紧靠无尘车间,不是公用一面墙隔墙,而是各自有各自的隔墙,而两面隔墙之间留有一定宽度的夹缝。
即药品生产洁净厂房中的温度和相对湿度是以穿洁净工作服的操作人员不产生不舒服、不为基准的。
具体布局首先应该了解当地常年的风向状况,即当地风向频率图,然后考虑划分区域。
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