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L5 专用清洗设备要求 L5.1 设备种类及数量清洗机构应具有专用清洗设备(见表L1)以及其它清洗所需要的设备、器材和工具等。
影响洁净室性能的因素yxjjsxndys影响净化工程性能的因素，在竣工调试过程中，有时会出现性能达不到设计要求的参数，这是为什么呢?因为，洁净室建造是一个系统工程，它是由多、多工种、多过程相结合的产物。
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