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例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
无论采用那一种形式，洁净室的装饰装修大部分均由洁净工程公司承建，而不是由土建施工单位承建。
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