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(3)通过图纸自审、互审和会审形成图纸会审纪要，掌握拟建工程的特性及应注意的问题，给工程的施工创造条件。
目前纳米级集成电路芯片生产要求气体中杂质的浓度要控制到19-9级或10-12级,要求超纯水的电阻率为18MΩ·cm,杂质浓度为19-9级或10-12级。
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