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5级净化间的气流流程为：新回风混合-化学过滤器（NH4+）-化学过滤器（SQx）-中效过滤器-表冷器-送风机-送风管-送风静压箱-风机过滤器单元（FFU）-洁净区-房间侧下百叶回风口-回风管-新回风混合。
应当留神的是，因为医用门只能单向开启，假如相邻的两个分区都只有一个保险出口，则应当在墙上分设两樘医用门并分辨向两侧开启，才干满意两个分区间彼此疏散的须要。
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