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30 万级的洁净室常采用顶送顶回的方式，10 万级及 1 万级的洁净室设计通常采用上送下侧回的气流方式，更别的则采用水平或垂直单向流的 方式。
二、工业洁净室设计在工业洁净室中，制药厂是我们经常遇到的工程设计，根据 GMP 对洁净厂房的要求， 有几项重要参数应给予重视。
示例 五在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
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