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目前纳米级集成电路芯片生产要求气体中杂质的浓度要控制到19-9级或10-12级,要求超纯水的电阻率为18MΩ·cm,杂质浓度为19-9级或10-12级。
为补充排气口排出的空气，同体积的空气通过操作口从房间空气中得到补充。
在正常状态下，发现锁芯开启不灵活，用少量的铅笔末置入饮料吸管内，对准锁芯，轻轻地吹到锁芯内，这样可以保持润滑状态。
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