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五、原辅材料的有关要求所用原辅材料、消毒剂应是食品级并符合相应标准的规定，有监管部门的批准文号；对于饮用天然矿泉水，其水源应有相关管理部门的鉴定和批准开采的文件，即水源评价报告、采矿许可证、取水证、水源水质跟踪监测报告。
例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
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