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13801550777三、洁净室的消防报警和控制1、洁净室的生产区（包括技术夹层）、机房、站房等均应设置火灾探测器（感温探测器、感烟探测器或空气采样器等），及早预知、早报警。
洁净技术的运用范围：1、微电子工业电子工业已从过去的电子管发展到半导体分离器件、集成电路乃至超大规模集成电路，因此也大大地促进了空气洁净技术的发展，实践证明，集成电路制造工艺中，集成度越高，图形尺寸越细，对洁净室控制的空气尘埃微粒粒径尺寸也越小，且空气中含尘量要求越低。
九条 清洁作业区入口应设置二次更衣区，洗手、干手和（或）消毒设施，换鞋（穿戴鞋套）或工作鞋靴消毒设施，并设置风淋设施。
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