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另一方面欲达到洁净室洁净度之稳定效果，均一气流之保持亦为一重要因素，均一气流若无法保持，表示风速有异，特别是在壁面，气流会延着壁面发生涡流作用，此时要实现高洁净度事实上很困难。
5、氧化钛杀毒 设备中的纳米级二氧化钛由紫外光进行激活，在过滤空气的同时可以降解其中的甲醛、苯等毒气。
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