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13801550777洁净室污染对生产的影响jjswrdscdy洁净室污染对生产的影响随着社会经济的快速发展,特别是以微电子、生物工程、精密机加为代表的科学实验和高科技生产过程,对产品加工的精密化、微型化、高纯度、高质量和高可靠性提出了更高的要求。
一则防止水中粉粒污染晶圆,二则防止水中重金属离子(如钾、钠离子)污染金氧半晶体管结构之带电载子信道,影响半导体组件的工作特性。
4.2.7 作业出入口清洗机构可通过集中空调通风系统风管不同部位的作业出入口进出人力和机械,进行相应的清洁与检查工作。
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