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5μm及以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
三代:温等离子技术主要原理是,通过给气体外加电压至气体的放电电压,使气体被击穿,产生各种强氧化性的低温等离子,并在短时间内把接触。
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