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目前纳米级集成电路芯片生产要求气体中杂质的浓度要控制到19-9级或10-12级,要求超纯水的电阻率为18MΩ·cm,杂质浓度为19-9级或10-12级。
另外, 要及时更换初、中效过滤器, 及时清洗维护冷凝器和冷热水盘管。
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