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13801550777加之其具有体积小、重量轻、便于安装、效率稳定、风速均匀的优点，配置于超净工作台运用是好的净化过滤设备之一。
计算过程1.缝隙泄漏风量V=(S1+S2)*3600*1.29*(△P)1/2(0.01*1*4*9+0.02*1*2+0.02*2.1*2)*3600*50(1/2)*1.29 = 4642m3/h2.开门泄漏风量Q=S3*1.29*(△P)1/2*t*n(2.1*1)*(50 (1/2)*1.29)*5*1 = 109 m3/h3.风淋室和传递窗密闭良好，假设无漏风4.工艺排风量为1000CMH控制50Pa正压所需的新风量为4624+109+1000 = 5733 m3/h若根据表1经验值估算，控制50Pa正压所需风量为5.3*100*4 +1000= 3120m3/h取大值5733 m3/h实际余压阀显示正压为65Pa业主出于节能考虑，要求降低正压至35Pa。
4.2.4 部件清洗采用专用工具、器械对部件进行清洗，清洗后的部件均应满足有关标准的要求。
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