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13801550777目前纳米级集成电路芯片生产要求气体中杂质的浓度要控制到19-9级或10-12级,要求超纯水的电阻率为18MΩ·cm,杂质浓度为19-9级或10-12级。
二、建筑材料及其燃烧性能洁净厂房的耐火等级不应低于二级1、无尘车间的顶棚和壁板（包括夹芯材料）应为不燃烧体，且不得采用复合材料。
那具体应怎样进行净化车间制药设备的选型设计？净化车间、无尘车间设备的选型和设计充分考虑工艺上的要求，选用的设备能与生产规模相适应，并应获得大的单位产量；操作可靠、降低劳动强度、提高劳动生产率；有合理的温度、压强、流量、液位的检测、控制系统；能改善环境保护；能适应产品品种变化的要求，并确保产品质量。
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