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13801550777无尘室之建筑主体构造：一般是用钢筋或骨水泥，但无论是何种构造，满足如下之条件：不会因温度变化与振动而发生裂痕;不易产生微尘粒子，且很难附着粒子;吸湿性小;为了维持室内之湿度条件，热绝缘性要高。
如果对洁净室内的暖通、动力装置和控制系统有严格要求，例如洁净室的温度控制要求为正负0.1华氏度所用花费，可能比基准点为70华氏度，±2.0度（即标准要求68到72华氏度）的高出20%到50%。
一、针对FFU风速进行改善改善方式：1、通过中控电脑，调整FFU马达转速降低(original: 1,300 rpm)2、观察洁净室压力值的变化(original: 65 Pa)3、持续降低转速直至压力为45 Pa4、记录FFU后的转速并观察洁净室压力二、针对(MAU)风速进行改善改善方式：1、通过中控电脑调整MAU马达转速(original:45Hz)2、观察洁净室压力值的变化(original: 45 Pa)3、持续降低转速直至压力为35Pa4、记录MAU后的转速，并观察洁净室压力三、终节能效果1、降低FFU转速(1)FFU转速由1,300 rpm降至1,100 rpm(2)共计可节省FFU马达耗电：62 Kw2、降低MAU转速(1)调节洁净室压力至35Pa，MAU负载 由45 Hz降至41 Hz(2)共计可节省MAU马达耗电：4 kW。
负压密封就是使过滤器与静压箱和框架接缝的外周边处于负压状态，与明装型式一样即使渗漏也不会漏到室内。
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