为此,电子工业洁净厂房一般配备下列设施,如净化空调系统、专用净化设备、噪声控制设备、防微振设备、防静电设备、防电磁干扰设备、电气、照明、高纯物质(高纯水、高纯气、高纯化学品)供应设备、报警系统、节能设施以及通信设施等。
元器件、设备、甚至墙面或地板上都可能随时产生静电荷，有了静电荷就有了静电吸附的现象，导致洁净室的洁净度的下降。
还要考虑初、中效过滤器的阻力和容尘量。
6. 易造成污染的物料及废弃物，均应从其专用 传递窗 运到非洁净区。
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